【半導体技術】韓国環境部が「超純水実証プラント」を着工、半導体用超純水の国産化を支援

韓国環境部が「超純水実証プラント」を着工、半導体用超純水の国産化を支援
著者：服部毅

　韓国の環境部(日本の環境省に相当)は、傘下の韓国水資源公社および韓国環境産業技術院とともに、半導体用超純水製造技術の国産化に向けた第一歩として「超高純度工業用水(超純水)実証プラント」を、韓国のシリコンウェハメーカーであるSK Siltronの構内に建設することを明らかにした。

　建設地は慶尚北道亀尾市のSK Siltron第2工場(200mmウェハ製造工場)隣接地で、すでに11月16日に着工式を挙行、プラントの建設を開始したという。

　SK Siltronは、同第2工場以外に亀尾市内に最新鋭の第3工場(300mmシリコン結晶引き上げおよび加工工場)を2棟所有しているが、こちらは日系企業が建設し管理する超純水プラントが稼働している。

（略）

マイナビニュース　2021/11/26 19:12
https://news.mynavi.jp/article/20211126-2202654/