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【半導体技術】韓国企業が高純度フッ化水素（15N）の特許取得発表「技術で日本に先行する」株価急騰
韓国の半導体素材企業ラムテクノロジーは22日、超高純度フッ化水素生産技術を開発し特許も取得したと明らかにした。
聯合ニュースなど韓国各紙も一斉に報じた。
同社の株価は急騰している。
日本政府が2019年7月、半導体・ディスプレイの核心素材3品目について韓国への輸出管理を強化（輸出規制）すると発表してから2年余りで収めた成果となる。
日本政府は超高純度フッ化水素とEUV用フォトレジスト、フッ化ポリイミドの輸出について管理を強化した。
一般的に超高純度フッ化水素は99.9999%(6N)以上の純度ガスを意味する。ラムテクノロジーが生産技術を開発した超高純度フッ化水素は、1千兆分の1（ppq、part per quadrillion、10の15乗）以下のレベルまで生産される。純度数字で表記すると99.9999999999999%(15N)となる。ラムテクノロジー関係者は「現存する超高純度フッ化水素の中で最も純度が高い」とし「国内技術が日本に先行する」と説明している。
半導体基板であるシリコンウェーハ表面不純物を洗い流す洗浄工程と、ウェーハを回路台で削り出すエッチング工程などで純度99.9999999999%(12N)以上の超高純度フッ化水素を用いる。ラムテクノロジー関係者は「半導体の製造で不純物があると半導体収率が低下する」としながらも「不良率を下げようとフッ化水素純度を高めるほど精製コストが増え、保管・取扱い中に汚染される可能性がある」と説明した。
ラムテクノロジーは、従来であれば、石英（CaF2・フルオリン化カルシウム）を蒸留法、電気分解法、吸着法、膜分離法などで精製しなければならなかったが、このような過程をスキップして工程とコストを削減できたと説明した。それとともに液体と気体超高純度フッ化水素を同時に生産できると強調した。
ラムテクノロジーは「国家核心戦略産業競争力強化および保護に関する特別措置法案」が今年韓国国会を通過すれば、韓国の半導体企業は超高純度フッ化水素を韓国内で全て賄えるだろうと見通した。ラムテクノロジー関係者は「忠南唐津第一新築工場を増設する」とし「SKハイニックスが推進する龍仁半導体クラスターでも第二新築工場増設が弾みを持つだろう」と期待した。
ラムテクノロジーの特許取得報道を受け、同社の株価は連日上昇している。23日午前9時23分現在､前日比で価格上昇制限幅(29.92%)となる1万1550ウォンで取引されている｡前日にも上限幅価格を記録した｡
この報道をみた韓国のネットユーザーからは、
「日本は輸出を防ぐことで従わせようとしたが見事に克日が決まったな…」
「日本はギャフンと言わせないとな。しかし…ノージャパンはやってもノーチャイナはなぜやらないんだ」
「これは政府が最も良くやったことだ。この勢いで対中取引品も国産化頼む」
「素晴らしい、ワンダフルコリア」
「極右がいかに国を亡ぼすか、日本を見て学べ」
「これは無理だと言ってた親日家たち、頭を丸めろ」
などのコメントがネット掲示板に投稿されている。
Korea Economics 2021年11月23日
http://korea-economics.jp/posts/21112301/
